作为集成电路产业链上游的半导体设备领域，目前已有7家公司在科创板上市，包含国产清洗设备龙头盛美上海、刻蚀设备龙头中微公司、薄膜沉积设备拓荆科技等。除已发布年报的盛美上海外，多家公司预告了2022年业绩喜讯，研发突破和产品放量构成国产半导体设备公司的成长主线，市场竞争力正在逐步提升。其中，中微公司、拓荆科技、华海清科、芯源微预计归母净利润实现翻番。（证券时报）