精测电子近期投资者关系活动记录表显示，公司子公司上海精测主要聚焦半导体前道检测设备领域，致力于半导体前道量测检测设备的研发及生产，设备应用于硅片加工、晶圆制造、科研实验室、第三代半导体四大领域。
上海精测膜厚系列产品、OCD设备、电子束设备已取得国内多家客户的批量订单，且上述产品均已取得先进制程订单，公司先进制程产品订单已实现部分交货且取得重复订单；半导体硅片应力测量设备也取得客户重复订单；明场光学缺陷检测设备已完成首台套交付，且已取得更先进制程订单；有图形暗场缺陷检测设备等其余储备的产品目前正处于研发、认证以及拓展的过程中。